產品介紹

裝置現有產能6000噸/年，采用國際先進技術和先進裝備建成，目前產品質量穩定保持在G5等級，行業領先，廣泛應用于存儲類、邏輯類和車載功率半導體芯片制造領域，我們的產品成功實現了國外同類產品的國產化替代，打破了高品質電子化學品長期以來一直被國外壟斷的局面。

電子級氫氟酸是微電子行業的關鍵性基礎化工材料之一，是濕電子化學品中的一種，由于電子級氫氟酸的純度和潔凈度對集成電路的成品率、性能及可靠性都有著十分重要的影響，生產工藝技術要求很高，目前主要依靠進口產品滿足國內市場需求。在濕電子化學品領域，目前國際上公認的濕電子化學品質含量標準是SEMI國際標準，共分為五個等級，其中G5為最高等級。我國電子級氫氟酸生產廠家產品等級普遍較低，能夠達到半導體所用G4級及以上的企業包括我公司在內僅三家左右，其余兩家為多氟多、中巨芯（原巨化股份），高端電子級氫氟酸國產化率低。

主要用途

在半導體領域，主要用于晶圓表面清洗、芯片加工過程中的清洗和蝕刻等工序；在新型顯示領域，主要用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蝕刻等；在光伏太陽能電池領域，主要用于硅片表面清洗、蝕刻去邊、清洗制絨等環節。